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高純度材料を使用し,金属汚染が少なく長寿命です。アルミナ製静電チャックに比べて,熱伝導性に優れております。
当社のパルスヒーターは業界No.1の昇降温スピードを有し、フリップチップボンダーを始め各種熱圧着装置に幅広く採用されております。標準品として□12mm、22mm、35mmのサイズをそろえております。
DC（直流）方式による高速SiC成膜が可能です。
