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新材料事業
Advansic/半導体製造装置用部品
SiCセラミック部品
特性
- 高純度
- 高密度
- 高熱伝導性
![→](https://www.soc.co.jp/sys/wp-content/themes/soc/assets/images/service/new_material/image_arrow_01.png)
特徴
- ウエハへの金属汚染が少ない
- 脱ガス、パーティクルが少ない
- 加熱冷却が早く、熱応答性が良い
製品例
※表は横にスライドしてご覧いただけます。
応用分野 | 製品例 |
プラズマエッチング装置 | シャワープレート、フォーカスリングなど |
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プラズマCVD装置 ・ 熱CVD装置 | サセプターなど |
熱処理装置 | サセプター、ウエハホルダーなど |
![Fig.1 フォーカスリング](https://www.soc.co.jp/sys/wp-content/themes/soc/assets/images/service/new_material/image_semiconductor_semiconductor04_box02.jpg)
![Fig.2 シャワープレート](https://www.soc.co.jp/sys/wp-content/themes/soc/assets/images/service/new_material/image_semiconductor_semiconductor04_box03.png)
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