高機能品事業

高純度材料を使用し,金属汚染が少なく長寿命です。アルミナ製静電チャックに比べて,熱伝導性に優れております。

当社のパルスヒーターは業界No.1の昇降温スピードを有し、フリップチップボンダーを始め各種熱圧着装置に幅広く採用されております。標準品として□12mm、22mm、35mmのサイズをそろえております。

DC（直流）方式による高速SiC成膜が可能です。

細菌に対し抗菌力が高く、人には害の少ない銀を主成分としています。また、高温処理に対しても抗菌効果が失われることが少なく、衛生陶器、磁器等にご利用いただけます。

当社は、ナノサイズの粒子を原料とした防汚・易洗浄性コーティング材料を開発し、実用化に成功しました。透明なステンレス用コーティング材料の実用化は世界初となります。