新材料関連 半導体製造装置用部品

SiCセラミック部品 / SiC ceramic parts

製品例

応用分野 製品例
・プラズマエッチング装置 シャワープレート、フォーカスリングなど
・プラズマCVD装置 ・ 熱CVD装置 サセプターなど
・熱処理装置 サセプター、ウエハホルダーなど

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