新材料関連 半導体製造装置用部品

リテーナーリング

特長

●優れた耐摩耗性を有しています
(Al2O3製従来品より10倍以上の寿命)
●研磨面のスクラッチ痕が発生し難く、
均一な研磨レートが得られます
●磨耗屑の発生もありません

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