新材料関連 半導体製造装置用部品

サセプター

特長

●高熱伝導性(230W/m・k)により熱応答性が速い
●高純度(最高6N)であるので金属汚染が少ない
●赤外吸収効率も高くランプ加熱に最適
●高温下での耐酸化性、耐熱衝撃性に優れている

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