新材料関連 半導体製造装置用部品

静電チャック

静電チャック高純度材料を使用し,金属汚染が少なく長寿命です。アルミナ製静電チャックに比べて,熱伝導性に優れております。

Sicヒーター

Sicヒーター当社のパルスヒーターは業界No.1の昇降温スピードを有し、フリップチップボンダーを始め各種熱圧着装置に幅広く採用されております。標準品として□12mm、22mm、35mm、60mmのサイズをそろえております。

ターゲット材

ターゲット材DC(直流)方式による高速SiC成膜が可能です。(成膜速度はRFスパッタリング方式の2倍!)均質,緻密な膜が得られ易い。ダストやパーティクルの発生が少ない。大出力スパッタが可能です。

サセプター

サセプター高熱伝導性(230W/m・k)により熱応答性が速い。高純度(最高6N)であるので金属汚染が少ない。赤外吸収効率も高くランプ加熱に最適。高温下での耐酸化性、耐熱衝撃性に優れている。

リテーナーリング

リテーナーリング優れた耐摩耗性を有しています。(Al2O3製従来品より10倍以上の寿命)。研磨面のスクラッチ痕が発生し難く、均一な研磨レートが得られます。磨耗屑の発生もありません。

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