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新材料事業

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半導体製造装置用部品

静電チャック

静電チャック

高純度材料を使用し,金属汚染が少なく長寿命です。アルミナ製静電チャックに比べて,熱伝導性に優れております。

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パルスヒートツール(Sicヒーター)

パルスヒートツール(Sicヒーター)

当社のパルスヒーターは業界No.1の昇降温スピードを有し、フリップチップボンダーを始め各種熱圧着装置に幅広く採用されております。標準品として□12mm、22mm、35mm、60mmのサイズをそろえております。

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高純度SiCスパッタリングターゲット

高純度SiCスパッタリングターゲット

DC(直流)方式による高速SiC成膜が可能です。

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SiCセラミック部品

SiCセラミック部品

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