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新材料事業

機能別製品一覧
電気的機能

静電チャック

静電チャック

高純度材料を使用し,金属汚染が少なく長寿命です。アルミナ製静電チャックに比べて,熱伝導性に優れております。

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パルスヒートツール(Sicヒーター)

パルスヒートツール(SiCヒーター)

当社のパルスヒーターは業界No.1の昇降温スピードを有し、フリップチップボンダーを始め各種熱圧着装置に幅広く採用されております。標準品として□12mm、22mm、35mmのサイズをそろえております。

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